| 調査解析事例 |
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低真空モードによる二次電子像 |
高真空モードによる二次電子像 |
観察部位 拡大 |
観察部位 拡大（反射電子像） |
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| １．基板電極の腐食および付着物の成分分析事例 | |||
| 分析エリアＳＥＭ像 | |||
不具合外観 |
（低真空モードによる無蒸着観察） |
低真空モードによる観察・分析ではチャージアップ現象の軽減効果により、絶縁物試料への無蒸着観察・が可能となります。また、蒸着成分を含まない元素定性が可能となります。 |
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Ｘ線スペクトル |
特性X線マップ像 |
| ２．共晶半田の定量分析事例 | ||
| ・定量分析とは、含まれている元素の組成比を明らかにする、 | ||
| 又は注目している元素がどれくらいかの量、含まれているかを明らかにする分析で、 | ||
| 定性分析として収集したX線スペクトルデータから定量計算されます。 | ||
| Ｘ線スペクトル＆特性Ｘ線マップ像 | 定量分析結果 | |
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| ３．加速電圧の相違によるＸ線スペクトルの違い |
| ・弊社が所有する分析装置はエネルギー分散型（ＥＤＸ）で、試料表面への電子ビーム照射により |
| 発生した特性を検出し、元素分析を行うものです。元素検出の深さ方向の感度は加速電圧により |
| 変わることから加速電圧を変えて分析することで、深さ方向の定性を検討することが可能となります。 |
| 図１−ａ，ｂは、ある電子部品にみられた変色部（ＳＥＭ観察において薄膜状の物質が存在）と正常部を |
| 加速電圧１５ｋＶにて定性分析したＸ線スペクトルですが、有意差を確認することができませんでした。 |
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| そこで加速電圧を５ｋＶに下げて定性分析したところ、図２−ａ，ｂのようにＣ成分の強度が大きくなっている |
| ことが確認できました。加速電圧を低くしたことで、最表面、且つ軽元素の情報が顕著に現れた事例です。 |
| （尚、事後の調査によって変色部には有機系の物質が存在することが判明しました。） |
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| ４．ＢＧＡ半田ボール接合部の線分析 |
| 半田ボール断面ＳＥＭ像（広域）とＳＥＭ像（分析エリア）にリンクした線分析データ |
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線分析データ |
元素別分析データ |
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