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名称 メーカー・形式 仕様
実体顕微鏡 実体顕微鏡 ライカ
Z16 APO		 観察倍率：×3.6～×230
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
　　　　　（ニコン　DMX-1200F デジタルカメラシステム）
実体顕微鏡
 オリンパス
SZH10		 観察倍率：×3.5～×140
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
名称 メーカー・形式 仕様
金属･透過型顕微鏡
金属･透過型顕微鏡
 ニコン
エクリプスME600L		 観察倍率：×25～×1500
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
　　　　　（ニコン　DMX-1200 デジタルカメラシステム）
オリンパス
BX60MF5		 観察倍率：×37.5～×990
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
　　　　　（ニコン　DMX-1200 デジタルカメラシステム）
オリンパス
BHC		 観察倍率：×25～×840
名称 メーカー・形式 仕様

ﾏｲｸﾛﾌｫｰｶｽＸ線装置μF-X線装置

SHIMADZU
SMX-160LT

焦点寸法：0.4μm　ﾌｨﾗﾒﾝﾄ：LaB6
観察倍率：5～2700倍(ﾓﾆﾀ上)
最大管電圧：160ｋV　最大管電流：200μA
Ｘ線透過装置
Ｘ線透過装置
 ソフテックス
CD-100		 観察倍率：×7～65　焦点寸法：0.3mm
最大管電圧：100ｋV　最大管電流：3mA
名称 メーカー・形式 仕様
超音波探査映像装置 (SAT)
超音波探査映像装置 (SAT)
 日立建機
ファインテック
HYE-FOCUSⅡ		 走査範囲：340×340mm
最大倍率：1000倍
最小ピッチ：2.5μm　256表示階調
プローブ種類：25、50、75、140、230MHz
名称 メーカー・形式 仕様
パッケージオープナー
（自動開封装置）
パッケージオープナー		 日本
サイエンティフィック
PA-103		 使用薬品：発煙硝酸　開封可能パッケージﾞ：プラスティックモールド
開封温度50℃～80℃ 時間設定：0～59分59秒
パッケージオープナー 日本
サイエンティフィック
PS-101		 使用薬品：発煙硝酸/硫酸/混酸　開封可能パッケージ：プラスティックモールド
開封温度50℃～270℃ 時間設定：0～59分59秒
名称 メーカー・形式 仕様
試料切断装置試料切断装置 リファインテック
RCA-005		 ダイヤモンド切断ホイールΦ５インチ使用
試料切断装置 ＢＵＥＨＬＥＲ
アイソメット2000		 ダイヤモンド切断ホイールΦ６インチ使用
名称 メーカー・形式 仕様
試料研磨装置
試料研磨装置

ＢＵＥＨＬＥＲ
エコメット4000		 研磨ディスク：１２インチ
回転数：１０～５００rpmで１０rpm毎に可変
ＢＵＥＨＬＥＲ
エコメットツイン		 研磨ディスク：８インチ
回転数：１０～３５０rpmで１０rpm毎に可変
ポリシステム
PS-2000		 研磨ディスク：２００mm
回転数：１０～２００rpm無断変速
丸本ストルアス
ロトポール25		 研磨ディスク：２５０mm／２枚
回転数：４０～６００rpmで無断変速
ﾃﾞｨﾝﾌﾟﾙｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ GATAN
Dimple Grinder
Model 656

初期試料厚さ：200μm以下　 最終試料厚さ：5～10μmまで
研磨ホイール径：15mmφ　研磨ホイール速度：0～600rpm
名称 メーカー・形式 仕様

電界放出(放射)
走査型電子顕微鏡
(FE-SEM)
走査型電子顕微鏡

 日立
SU8000		 二次電子像分解能：1.0nm
加速電圧：0.1kV～30kV
倍率：×30～×800,000
試料サイズ：Φ150mm
二次検出器：Top/Upper/Lower
　　　　SE（二次電子）・BSE-H（組成情報）･BSE-L（組成+凹凸情報）
HORIBA
EMAX x-act250		 検出元素範囲：B(5)～U(92)
検出器：シリコン･リチウム･ドリフト型
分解能：137ev以下
その他：定性分析、カラーマッピング機能、
　　　　定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析
走査型電子顕微鏡
(SEM)
走査型電子顕微鏡		 日立
SEMEDXⅢ

【SEM】
二次電子像分解能：3.0nm(高真空25kV)、15nm(低真空3kV)
反射電子像分解能：4.0nm
倍率：×5～×300,000　試料サイズ：Φ150mm
【EDX】
検出元素範囲：B(5)～U(92)
検出器：シリコン･リチウム･ドリフト型
分解能：138ev以下
その他：定性分析、カラーマッピング機能、
　　　　定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析
走査型電子顕微鏡 日本電子
JSM-5800		 二次電子像分解能：3.5nm(30kV,WD8mm)
倍率：×18～×300,000
試料サイズ：最大8インチ径装着可能
ノーランインスツルメント
VOYAGER R3105		 検出元素範囲：B(5)～U(92)
検出器：シリコン･リチウム･ドリフト型
分解能：143ev以下
その他：定性分析、各元素毎のカラーマッピング機能、
　　　　定量分析(1%未満分析可能)、多点・線分析機能
名称 メーカー・形式 仕様
反応性
イオンエッチング(RIE)
反応性イオンエッチング
 日本
サイエンティフィック
ES301		 高周波出力：5～120W 電極間距離：30mm
シーケンス動作：全自動
使用真空度：80mTorr～2Torr 使用ガス：CF4,O2
ステージ温度範囲：30℃～70℃
エッチング時間：1sec～99min59sec
名称 メーカー・形式 仕様
ボンドテスターボンドテスター
 西進商事
SS-30WD		 シェア・プルテスト対応
測定過重：25KgMax
測定速度：0.0004017～2.63mm/sec
名称 メーカー・形式 仕様
カーブトレーサー
サーモストリーマ

Tektronix
370B

 ステップ・ゼネレーター機能搭載
最大ピーク電力220W、電圧2000V、電流10A
名称 メーカー・形式 仕様
サーモストリーマ
サーモストリーマ
 TEMPTRONICS
4010Ac		 温度範囲：-75℃～225℃
温度制御：プログラム温度制御エアストリーム
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